[18p-E207-1~11] 15.1 バルク結晶成長

[18p-E207-7] CZ法ScAlMgO₄（SCAM）結晶のX線トポグラフ観察と光学特性評価

〇藤井 高志^1,2、福田 承生¹、荒木 努²、杉山 和正³、石地 耕太朗⁴、杉江 隆一⁵ (1.福田結晶研、2.立命館大、3.東北大学金研、4.SAGA-LS、5.東レリサーチセンター)

キーワード：ScAlMgO4、無転位、窒化ガリウム

GaNエピタキシャル成長用基板として注目を集めているScAlMgO4単結晶の反射X線トポグラフ観察と光学特性を評価した。結晶はCZ法で育成し、そこから直径40㎜のc面ウエハを切り出した。X線トポ観察では、広い範囲で転位の存在は認められず、SCAM単結晶はSiと同様に無転位結晶であることが分かった。さらに光学特性評価についても実施した。