[18p-E207-1~11] 15.1 バルク結晶成長

[18p-E207-9] 高濃度のホウ素・窒素が添加された蛍光SiCにおける光学特性

〇田中 大稀¹、Lu Weifang¹、上山 智¹、竹内 哲也¹、岩谷 素顕¹、赤﨑 勇^1,2 (1.名城大理工、2.赤﨑記念研究センター)

キーワード：SiC、光学特性、近接昇華法

ホウ素、窒素をコドーピングした6H-SiCはDAP発光によって約570nmをピークとするブロードな蛍光スペクトルが得られる。これは蛍光SiCと呼ばれ、ポーラス構造を持ったポーラス蛍光SiCと組み合わせることによって高演色白色LEDの作製が可能となる。本研究では高発光効率化に不可欠なホウ素、窒素を高濃度でドーピングした蛍光SiCについてIQEなどの発光特性を調査した。