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[18p-E207-9] 高濃度のホウ素・窒素が添加された蛍光SiCにおける光学特性
キーワード:SiC、光学特性、近接昇華法
ホウ素、窒素をコドーピングした6H-SiCはDAP発光によって約570nmをピークとするブロードな蛍光スペクトルが得られる。これは蛍光SiCと呼ばれ、ポーラス構造を持ったポーラス蛍光SiCと組み合わせることによって高演色白色LEDの作製が可能となる。本研究では高発光効率化に不可欠なホウ素、窒素を高濃度でドーピングした蛍光SiCについてIQEなどの発光特性を調査した。