[18p-E214-1~13] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

△ [18p-E214-13] アモルファスAl₂O₃薄膜における熱伝導率制御

〇(M2)安倍 知奈実¹、山下 雄一郎^2,1、田中 幸美²、八木 貴志^2,1、柏木 誠¹、賈 軍軍³、服部 浩一郎²、竹歳 尚之^2,1、岡島 敏浩⁴、重里 有三¹ (1.青学大理工、2.産総研、3.早大国際理工学センター、4.SAGA-LS)

キーワード：熱物性、アモルファス、薄膜

アモルファスAl₂O₃薄膜の熱伝導率は密度に依存することが知られている。本研究では、薄膜の密度を広範に変化させ、熱伝導率がどの様に依存するのかを調べるとともに、音速への依存性に着目した。膜密度はスパッタ成膜中の全圧、基板温度を変化させて幅広く制御した。熱物性解析は裏面加熱・表面測温型ナノ秒サーモリフレクタンス法で行った。その結果、熱拡散率が密度変化に伴い2倍程度も変化することを見出した。