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[18p-E214-3] Low thermal conductivity of BaSi2 film /Si and its thermal transport
Keywords:Thermal conductivity, Silicide, Thin film
IoT, IoHセンサ用電源として、自立発電可能な熱電発電に期待が集まっている。また、センサが実装されるSiプラットフォームとの整合性、小型の点で、Si基板上薄膜熱電材料は最適と言える。我々は、複雑結晶構造由来の極小熱伝導率を示すことで知られるBaSi2に注目した。今回、Si基板上BaSi2薄膜の熱伝導率に注目して熱電性能を評価し、さらに熱輸送機構を明らかにするために熱伝導率について、第一原理計算を用いた理論検討を行った。