[18p-E214-1~13] 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

△ [18p-E214-6] Voltage Enhancement of Unileg Planar Si-nanowire Thermoelectric Generator by Multi-stage Series Connection

〇(P)Motohiro Tomita¹, Hiroki Takezawa¹, Kohei Mesaki¹, Takashi Matsukawa², Takeo Matsuki^1,2, Takanobu Watanabe¹ (1.Waseda Univ., 2.AIST)

Keywords:semiconductor, silicon nanowire, thermoelectric generator

我々は、SOIウェハ上にSiNWを空中架橋せず直接置いた熱電発電素子(TEG)を考案し、このTEGを直並列することで昇圧回路を起動させる数十nW, 140mVを実現可能だと考えている。本研究では単純に直列接続するだけで多段TEGから所望の電圧を得ることができるのか実験と計算によって評価した。TEG間配線のリーク熱流によるロスはあるが、集積化にはメリットがあり、昇圧回路も起動可能だとわかった。