[18p-E303-1~11] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[18p-E303-11] クリーンルームの動的シミュレーションとバーチャルメトロロジーによる温度制御

〇熊谷 祐希¹、阿部 成海¹、尾花 宏樹¹、小笠原 稜²、久保田 弘¹、橋新 剛¹、吉岡 昌雄² (1.熊大院自、2.熊大工)

キーワード：クリーンルーム、温度制御、粒子