[18p-E308-1~18] 17.2 グラフェン

[18p-E308-13] 酸化グラフェンを感応膜とした膜型表面応力センサ（MSS）のガス応答特性

〇今村 岳¹、南 皓輔¹、柴 弘太¹、小幡 誠司²、吉川 元起^1,3、斉木 幸一朗⁴ (1.物材機構、2.岡山大、3.筑波大、4.東大)

キーワード：酸化グラフェン、ナノメカニカルセンサ、膜型表面応力センサ（MSS）

ナノメカニカルセンサとは、感応膜と呼ばれる部位がガスを吸収（脱着）して膨張（収縮）する際に生じる変位や応力を検知することで動作する化学センサである。本研究では、酸化グラフェン(GO)をナノメカニカルセンサの一種である膜型表面応力センサ（MSS）の感応膜として用い、そのガスセンサ応答特性を評価した。その結果、GOを塗布したMSS（GO-coated MSS）は、高感度かつ親水的な選択性を持つことが確認された。