[18p-E308-1~18] 17.2 グラフェン

[18p-E308-7] グラフェン/Siヘテロ構造光起電力型ガスセンサのガス応答特性の改善

〇杉山 裕一¹、田畑 博史¹、久保 理¹、片山 光浩¹ (1.阪大院工)

キーワード：グラフェン、ガスセンサー

光起電力型ガスセンサは、ガス吸着に伴う光起電力変化を応答量として利用する、新規の超低消費電力センサとして期待される。今回我々は、グラフェン/Siヘテロ構造ショットキーダイオードにおいて、グラフェンの転写法を湿式転写から半乾式転写に変えることでのガスセンサとしての性能を評価した。発表ではこの試料にNO₂を曝露した際の光起電力変化によるガス応答特性と、その結果から得られた応答原理の考察について報告する。