[18p-E312-1~7] 2.4 加速器質量分析・加速器ビーム分析

[18p-E312-6] 生体物質のSIMS分析における二次イオン収量に対する高速分子一次イオンの分子軸の影響

〇土田 秀次¹、村瀬 龍¹、波間 悠紀¹、中嶋 薫¹、千葉 敦也²、間嶋 拓也¹、斉藤 学¹ (1.京大院工、2.量研高崎)

キーワード：イオンビーム分析、生体物質、二次イオン質量分析

静電加速器からの高速分子イオンビームによる生体物質の二次イオン質量分析法において、二次イオン収量の増大に繋がる因子を特定することが重要である。本研究では、二次イオン収量に対する高速分子一次ビームの分子軸の依存性を調べた結果、二次イオン収量は、分子軸が入射方向に対して平行になるほど多くなることが分かった。