[18p-N304-1~15] 3.7 レーザープロセシング

[18p-N304-1] [講演奨励賞受賞記念講演] 電子励起領域への選択的光吸収によるガラスの超高速微細精密レーザ加工

〇伊藤 佑介¹、吉﨑 れいな¹、宮本 直之¹、柴田 章広²、長澤 郁夫²、長藤 圭介¹、杉田 直彦¹ (1.東大院工、2.AGC株式会社)

キーワード：レーザー加工、フェムト秒レーザー、ガラス

これまでに，フェムト秒レーザ照射によりガラス内部に局所的な高電子密度領域を形成し，その領域に選択的に連続波レーザを吸収させることで，ガラスへの超高速微細精密加工を実現している．本研究では，フェムト秒レーザと連続波レーザの照射タイミングが加工に及ぼす影響を調査することで，光吸収が一旦開始すれば，吸収開始位置を起点としてダイナミックに加工が伸展することを示した．