[18p-N304-1~15] 3.7 レーザープロセシング

△ [18p-N304-9] 加工モルフォロジーとローカルフルーエンス分布の直接比較による解析手法の開発

〇櫻井 治之¹、小西 邦昭¹、田丸 博晴¹、湯本 潤司¹、五神 真¹ (1.東大理)

キーワード：レーザー加工、超短パルスレーザー

加工レーザーのローカルフルーエンスを直接的に加工モルフォロジーと相関づけることを可能とする、新たな実験手法を紹介する。自作した高空間分解能ビームプロファイラで加工焦点面のビームプロファイルをin-situ測定した。レーザー顕微鏡でex-situで得られた加工後のモルフォロジー情報をこのプロファイルと比較することで、加工穴深さとローカルフルーエンスの相関を明らかにすることが可能となった。