[18p-PA3-1~13] 1.6 超音波

[18p-PA3-10] カバーガラス/液体層/LiNbO₃構造における弾性表面波の伝搬特性

〇寺川 陽太¹、豊泉 仁¹、近藤 淳¹ (1.静大総合)

キーワード：弾性表面波

医療・バイオ分野ではデジタル式マイクロ流体システムが求められている．搬送技術として，攪拌もできることから弾性表面波(SAW)が注目されている．搬送の際，液体成分が基板表面に付着するため，クリーニングが必要となる．そこで，カバーガラス/液体層/LiNbO₃による3層構造を構築した．しかし，液体層での波のエネルギー損失によって，搬送に必要な電力が大きくなる問題点がある．本研究では3層構造の最適化を目的に，数値解析と実験から3層構造を伝わる波の伝搬特性について検討した．