[18p-PA3-1~13] 1.6 超音波

[18p-PA3-3] 高周波強力超音波トランスデューサ用圧電結晶膜の製膜とその評価

〇石河 睦生¹、内田 庸助¹、塚本 絢穂¹、齋藤 直¹、遠藤 聡人³、安井 伸太郎²、田原 麻梨江²、舟窪 浩²、黒澤 実² (1.桐蔭横浜大学、2.東京工業大学、3.紀州技研工業(株))

キーワード：圧電結晶膜、超音波トランスデューサ、高周波

3種類の厚みが異なるKNbO₃圧電結晶膜を用いて試作した超音波トランスデューサを水中に固定し、超音波送受信実験により共振周波数の測定を行った結果、6MHz, 12MHz, 19MHzであることが分かった。また、音響放射面の振動速度をレーザードップラー振動計により測定した結果、4m/sを超える大振幅動作が確認され、ハイドロフォンを用いて測定した送波音圧は3MPa以上であることが分かった。高出力時に音響流が発生し、他にも非線形現象として観察されたマイクロ～ナノバブルの発生と圧壊、衝撃波の発生、液面から液滴吐出についての報告を行う。