2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

印刷

一般セッション(ポスター講演)

1 応用物理学一般 » 1.6 超音波

[18p-PA3-1~13] 1.6 超音波

2019年9月18日(水) 16:00 〜 18:00 PA3 (第一体育館)

16:00 〜 18:00

[18p-PA3-7] スパッタ成膜中の負イオン照射測定に基づいた高圧電性ScAlN薄膜の形成

〇(M1)富永 浩平1、高柳 真司1、柳谷 隆彦2 (1.同志社大、2.早稲田大)

キーワード：圧電薄膜、ScAlN、負イオン