[18p-PA4-1~25] 6.2 Carbon-based thin films

[18p-PA4-13] Dedoping Properties of Iodine doped a-CN_x:H Thin Films

〇Shuto Fujiko¹, Yuki odo¹, Kudo Seiji¹, Masaaki Yamazato¹, Akira Higa¹ (1.Ryukyu Univ.)

Keywords:amorphous carbon thin film, iodine doping, amorphous carbon nitride

a-C:H 薄膜はヨウ素ドーピングにより，光学ギャップの減少や光伝導性を示すことから，電子デバイスへの応用が期待されている．我々はこれまでに，a-C:H 薄膜に加えa-CNx:H 薄膜にも，ヨウ素ドーピングを行うことで光学ギャップなどの光学特性が変化することを示してきた．しかし，a-CNx:H へのドーピング後の時間経過に伴う膜質の変化などについては十分に調べられてはいない．そこで今回は，a-CNx:H へのヨウ素ドーピング後の脱ドープ特性について調べた．