[18p-PA4-1~25] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-PA4-13] ヨウ素ドーピングを施したa-CN_x:H薄膜の脱ドープ特性

〇藤古 秀人¹、小渡 祐樹¹、工藤 誠司¹、山里 将朗¹、比嘉 晃¹ (1.琉球大工)

キーワード：アモルファスカーボン薄膜、ヨウ素ドーピング、アモルファス窒化炭素

a-C:H 薄膜はヨウ素ドーピングにより，光学ギャップの減少や光伝導性を示すことから，電子デバイスへの応用が期待されている．我々はこれまでに，a-C:H 薄膜に加えa-CNx:H 薄膜にも，ヨウ素ドーピングを行うことで光学ギャップなどの光学特性が変化することを示してきた．しかし，a-CNx:H へのドーピング後の時間経過に伴う膜質の変化などについては十分に調べられてはいない．そこで今回は，a-CNx:H へのヨウ素ドーピング後の脱ドープ特性について調べた．