[18p-PA4-1~25] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-PA4-15] 配向性のあるグラファイト状窒化炭素薄膜の電子物性

〇羽渕 仁恵¹、小林 涼介¹ (1.岐阜高専)

キーワード：グラファイト状窒化炭素、層状物質

気相成長法による層状構造を持つ窒化炭素（g-C₃N₄）薄膜を合成した。X回折では27.8°に回折ピークが観測された。このピークはC₃N₄シートの(002)面によるものである。in-plane法ではこのピークは観測されないことから、薄膜は基板に対して平行に配向して成長している。(002)面のロッキングカーブである。半値幅ωは8.9°であり面方位にはゆらぎがある。