[18p-PA4-1~25] 6.2 カーボン系薄膜

△ [18p-PA4-20] ミニマルファブを活用したダイヤモンドSBDの試作と評価

〇(P)花田 尊徳¹、梅沢 仁²、大曲 新矢²、竹内 大輔²、根本 一正^2,3、クンプアン ソマワン^2,3、原 史朗^2,3、金子 純一¹ (1.北海道大工、2.産総研、3.ミニマルファブ)

キーワード：ダイヤモンド、ミニマルファブ、ショットキーバリアダイオード