2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[18p-PA4-1~25] 6.2 カーボン系薄膜

2019年9月18日(水) 16:00 〜 18:00 PA4 (第一体育館)

16:00 〜 18:00

[18p-PA4-21] 部分O終端チャネルを用いたダイヤモンドFeFETの疑似ノーマリオフ動作化に関する検討

〇(M1)玉村 達哉1、山田 樹1、高橋 和暉3、松本 翼2、中嶋 宇史3、徳田 規夫2、川江 健1 (1.金沢大理工、2.金沢大ナノマリ研、3.東京理科大)

キーワード:ダイヤモンド

我々は、強誘電体VDF-TrFEをゲートとしたダイヤモンドFeFETを提案、開発に取り組んでおり、基本動作や室温における高効率なキャリア誘起を実証してきた。一方、疑似ノーマリオフ動作は、チャネルのキャリア密度に対するVDF-TrFEの残留分極値が低い事から、その実現には至っていない。今回、H終端ダイヤモンドチャネルの一部を部分O終端化する事で局所的にキャリア密度を低減させた構造を用い、疑似ノーマリオフ動作化に関する検証を行った。