[18p-PA4-1~25] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-PA4-21] 部分O終端チャネルを用いたダイヤモンドFeFETの疑似ノーマリオフ動作化に関する検討

〇(M1)玉村 達哉¹、山田 樹¹、高橋 和暉³、松本 翼²、中嶋 宇史³、徳田 規夫²、川江 健¹ (1.金沢大理工、2.金沢大ナノマリ研、3.東京理科大)

キーワード：ダイヤモンド

我々は、強誘電体VDF-TrFEをゲートとしたダイヤモンドFeFETを提案、開発に取り組んでおり、基本動作や室温における高効率なキャリア誘起を実証してきた。一方、疑似ノーマリオフ動作は、チャネルのキャリア密度に対するVDF-TrFEの残留分極値が低い事から、その実現には至っていない。今回、H終端ダイヤモンドチャネルの一部を部分O終端化する事で局所的にキャリア密度を低減させた構造を用い、疑似ノーマリオフ動作化に関する検証を行った。