[18p-PA4-1~25] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-PA4-24] レーザー照射による単結晶ダイヤモンド上への導電層の形成

〇吉武 剛¹、アブバクル エスラム^2,1、ゼクリア アブデルラーマン^2,1、片宗 優貴³、大曲 新矢⁴、妹川 要¹、池上 浩¹ (1.九大、2.アスワン大、3.九工大工、4.産総研)

キーワード：レーザー誘起ドーピング、ダイヤモンド、ボロン

ダイヤモンドは次世代のパワー半導体として期待されているが，実用化への一つの問題として結晶成長後のドーピングが困難という点が挙げられる．近年，ドーパント溶液中におけるレーザー照射によりドーピングがSiC等で報告されている．本研究では，ホウ酸溶液中で単結晶ダイヤモンド中でレーザー照射を行い，Bドープによる基板表面の導電層の形成を試みた．