[18p-PA4-1~25] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-PA4-25] 高温・高圧合成によるＰ元素を導入したナノ多結晶ダイヤモンドの合成

〇大津山 健¹、福田 玲¹、村上 洋平¹、石川 史太郎^1,2、松下 正史^1,2、大藤 弘明²、新名 亨²、入舩 徹男² (1.愛媛大工、2.愛媛大 GRC)

キーワード：半導体