2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[18p-PA4-1~25] 6.2 カーボン系薄膜

2019年9月18日(水) 16:00 〜 18:00 PA4 (第一体育館)

16:00 〜 18:00

[18p-PA4-8] アセチレン-N2-Ar混合気体の高周波プラズマCVDによる高窒素含有a-CNx:H薄膜の作製と構造解析

綿貫 了太1、伊藤 治彦1 (1.長岡技科大(工))

キーワード:プラズマCVD、アモルファス、窒化炭素