[18p-PA4-1~25] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-PA4-8] アセチレン-N₂-Ar混合気体の高周波プラズマCVDによる高窒素含有a-CN_x:H薄膜の作製と構造解析

〇綿貫 了太¹、伊藤 治彦¹ (1.長岡技科大(工))

キーワード：プラズマCVD、アモルファス、窒化炭素