[18p-PA5-1~22] 6.4 Thin films and New materials

[18p-PA5-1] Effect of substrate temperature on Excimer-Laser assisted MOD for Nd_0.5Bi_2.5Fe_4.5Ga_0.5O₁₂ Films.

〇Kazuto Sodeyama¹, Haruka Aiba¹, Masami Nishikawa¹, Masami Kawahara², Tomohiko Nakajima³, Tetsuo Tsuchiya³, Takayuki Ishibashi¹ (1.Nagaoka Univ. of Tech, 2.Koujund Chem. Lob, 3.AIST)

Keywords:magnetic thin film, laser assisted MOD

現状のMOD法では、結晶成長に650℃以上の熱処理を行うため、湾曲面の磁場分布の可視化の実現に求められているフレキシブルな有機基板上への成膜は困難である。そこで、基板への熱負荷を低減できるパルスレーザーにより結晶化させる光MOD法を用いて、Nd_0.5Bi_2.5Fe_4.5Ga_0.5O₁₂薄膜の作製を行った。本発表では、基板温度を室温、350℃、450℃に設定して、結晶性に与える影響について調べた結果を報告する。