[18p-PA5-1~22] 6.4 薄膜新材料

[18p-PA5-2] MOD法により作製した(001)配向CFO薄膜の磁気異方性の向上

〇安田 敬太¹、西川 雅美¹、石橋 隆幸¹ (1.長岡技科大)

キーワード：コバルトフェライト、磁気光学効果、有機金属分解法

近年、(001)配向したコバルトフェライト薄膜は、高い垂直磁気異方性を示すことが報告され、注目されている。以前、我々は、有機金属分解(MOD)法によりガラスおよびSi基板上にCo_xFe_3-xO₄（CFO）薄膜が特定の仮焼成条件で (001)配向することを報告した。今回は、MOD溶液を希釈し、CFO薄膜の膜厚を低下させ、より磁気異方性の大きな薄膜を作製し、その磁気特性などの評価を行った。