[18p-PA5-1~22] 6.4 薄膜新材料

△ [18p-PA5-22] 導電性ポリマー基板への原子・ナノレベル周期パターン転写と特性評価

〇大島 淳史¹、大賀 友瑛¹、金子 奈帆¹、金子 智^2,1、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.神奈川県産技総研)

キーワード：熱ナノインプリント、導電性ポリマー

軽量，フレキシビリティ，大面積などの特徴を持つ導電性ポリマー材料は，デバイス基板などとしてエレクトロニクスにおいて重要性を増している。本研究では，導電性ポリマー基板上に酸化物などの機能性薄膜を成長させたデバイス作製を目的として，熱ナノインプリント法を用いた導電性ポリマー表面への原子・ナノスケールパターン転写と酸化物堆積に与える影響について検討した。