[18p-PA5-1~22] 6.4 薄膜新材料

[18p-PA5-4] ボロメータ型赤外線センサのためのチタン・タングステンドープ酸化バナジウムの形成に関する研究

中村 翔太郎¹、宮川 雄¹、〇氷室 貴大¹、齋藤 洋司¹ (1.成蹊大院理工)

キーワード：ボロメータ、赤外線センサ、酸化バナジウム

ボロメータ型センサの検知部に用いられる二酸化バナジウム（VO₂）中にチタン（Ti） とタングステン（W）を添加することにより、室温で使用でき、且つヒステリシスの小さい性能を有するVO₂膜の形成を行った。本稿では、電気的特性の不純物ドープ依存性を評価し、赤外線センサ材料に最適なドープ量を検討した結果について報告する。