[18p-PA5-1~22] 6.4 薄膜新材料

[18p-PA5-7] Si酸化基板上のAg/Ti及びAu/Ag/Ti薄膜の脱濡れ過程と自己組織化

〇神子 公男¹、南 相汎²、黄 忍勇²、光田 好孝¹、河 在根² (1.東大生研、2.韓国光云大)

キーワード：金属薄膜、脱濡れ、ナノドット

我々は、薄膜の脱濡れ（熱凝集）現象を用いた自己組織化によって、金属ナノ構造を容易に得るための手法開発の研究を行っている。今回、SiO₂基板上のAg/Ti及びAu/Ag/Ti薄膜の脱濡れ後に形成される表面構造の違いについて詳細に解析を行った。熱処理による脱濡れによりナノドット化していることが確認された。また、双方の脱濡れ過程の違いについても考察した。また、Au/Ag/Tiの場合、AuAg合金ナノドットが形成されていることが確認された。