[18p-PB1-1~84] 10 スピントロニクス・マグネティクス（ポスター）

[18p-PB1-69] 加熱in-situ TEMによるMTJ膜の構造・組成変化のナノレベルの評価

〇清水 夕美子¹、安田 光伸¹、西村 恵¹ (1.（株）東レリサーチセンター)

キーワード：磁気トンネル接合、電子エネルギー損失分光法、結晶方位解析

MTJ（magnetic tunnel junction）素子は、アニール温度によってTMR比が変化することが知られている。今回はこの構造の主流となっているCoFeB／MgO／CoFeBの積層試料について、加熱昇温に伴う結晶成長や元素分布の変化をナノレベルで評価した結果を報告する。