[18p-PB4-1~12] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[18p-PB4-6] シリコン結晶中における酸素固溶度を決定するメカニズムの考察

〇神山 栄治¹、末岡 浩治² (1.グローバルウェーハズ・ジャパン㈱、2.岡山県立大)

キーワード：シリコン、酸素固溶度

物質における不純物の固溶度は，物質と不純物の組み合わせで定まるパラメータと考えられている．シリコン結晶中の酸素の固溶度は温度依存性を有して酸素析出挙動を決定し，デバイスプロセスにおけるゲッタリング能力を左右する最重要なパラメータの１つとなっている．本発表では箱庭法を基に，シリコン結晶中の酸素固溶度の決定メカニズムについて理論的に考察する．