2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[18p-PB5-1~36] 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

2019年9月18日(水) 16:00 〜 18:00 PB5 (第二体育館)

16:00 〜 18:00

[18p-PB5-1] ミストCVD 法によるc 面サファイア基板上へのZnO 結晶の高温成長

大橋 紘誠1、藤原 健八1、山本 幹大1、原 和彦1、光野 徹也1 (1.静岡大工)

キーワード:酸化亜鉛、ミストCVD