[18p-PB5-1~36] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[18p-PB5-1] ミストCVD 法によるc 面サファイア基板上へのZnO 結晶の高温成長

〇大橋 紘誠¹、藤原 健八¹、山本 幹大¹、原 和彦¹、光野 徹也¹ (1.静岡大工)

キーワード：酸化亜鉛、ミストCVD