[18p-PB5-1~36] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[18p-PB5-21] Zn添加によるGZO膜の電気特性の面内均一化

〇山田 祐美加¹、山下 雅貴¹、澁谷 光¹、杉浦 怜¹、山田 容士¹、舩木 修平¹ (1.島根大自然)

キーワード：酸化亜鉛