[18p-PB5-1~36] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[18p-PB5-24] ZnOナノ粒子への熱拡散型Gaドープにおける熱処理雰囲気の影響

〇吉田 俊幸¹、Islam Md Maruful²、藤田 恭久¹ (1.島根大院自然科学、2.島根大院総理工)

キーワード：ナノ粒子、酸化亜鉛、Gaドープ

ZnOナノ粒子への熱拡散型Gaドーピングに関する研究です。得られたGaドープZnOナノ粒子は塗布型TFTなどへ応用します。現在，ZnO粒子単体ではGΩ/sq～MΩ/sq台と極めて高いシート抵抗値ですが，Gaドープにより最小で225Ω/sqまで低減化できました。Ga原子がZnO粒子へ拡散することまでははっきりしていますが，拡散量から期待されるほどに粒子層のシート抵抗が下がらず，原因を究明中です。