[18p-PB5-1~36] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[18p-PB5-29] MgO及びサファイア基板上へのエピタキシャルNiO薄膜の成長

〇西本 啓介¹、加藤 匠秀¹、金 冑男^1,2、杉山 睦^1,2 (1.東理大　理工、2.東理大　総研)

キーワード：酸化ニッケル、エピタキシャル、スパッタ