[19a-B11-1~9] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[19a-B11-5] デバイスシミュレータへのクーロン閉塞輸送実装方法の検討

〇飯塚 将太¹、浅井 栄大¹、服部 淳一¹、福田 浩一¹、森 貴洋¹ (1.産総研)

キーワード：TCAD シミュレーション