[19a-B31-1~5] 薄膜表面・界面評価法の新展開

[19a-B31-4] X線回折法による機能性薄膜材料の評価

〇稲葉 克彦¹ (1.㈱リガク)

キーワード：X線回折法、機能性薄膜、極点測定

X線回折法は結晶構造の情報を非破壊で得られる点で薄膜材料の重要な評価技法のひとつである．実際の機能性薄膜材料の評価事例をもとにX線回折法の評価技術を解説し，最先端の評価技法についても触れる．(１：ガラス基板上Al:ZnO極薄膜，２：m面Sapphire基板上に成長した非極性面成長ZnS/ZnO ダブルへテロ薄膜) 講演当日は時間の許す限りこの他の最新の評価事例・技法についても報告する予定である．