[19a-C206-1~8] 1.3 新技術・複合新領域

[19a-C206-4] 酸化タングステンナノ粒子膜の可視光照射による高濃度メタノールの室温ガスセンシング

〇内藤 勝之¹、信田 直美¹ (1.東芝研究開発センター)

キーワード：酸化タングステン、センサー、メタノール

安全・低コストでＰ２Ｃで期待されるメタノールガスの高濃度センシング技術を開発した。櫛形Pt電極上にWO3ナノ粒子膜を塗布製膜した。室温で白色LEDで光照射しながら高濃度メタノール（～１７ｖｏｌ％）に対して直流電気抵抗は７０％減少した。３．５および１．２ｖｏｌ％メタノールでは抵抗はそれぞれ９及び４％減少した。光を照射しないと応答は極めて小さい。