[19a-C310-1~12] 6.6 プローブ顕微鏡

[19a-C310-2] nc-AFM/STM用音叉型水晶振動子力センサーのための金属探針の作製と評価

〇新井 豊子¹、笈田 浩平¹、丸山 天悟¹、富取 正彦² (1.金沢大院自然、2.北陸先端大院)

キーワード：非接触原子間力顕微鏡/走査型トンネル顕微鏡、タングステン探針

nc-AFM/STM用音叉型水晶振動子力センサーのためのタングステン探針の作製法を検討する。タングステン探針の先鋭化法として、水素酸素ガス炎でのエッチングを行った。バーナー口からの距離、時間、燃焼ガス種などを変えてW探針を作製し、W探針の形状および、残存する炭素と酸素の量をオージェ電子分光顕微鏡で調べた。また、得られたW探針を用いて、共振再調整力センサーを作製し、nc-AFM/STM像取得により評価した。