[19a-C310-1~12] 6.6 Probe Microscopy

[19a-C310-5] Automatic Analysis of Force Curves Mapping Data by Machine Learning

〇Zhuo Diao¹, Daiki Katsube², Hayato Yamashita¹, Yoshiaki Sugimoto³, Masayuki Abe¹ (1.Osaka Univ., 2.Nagaoka Univ. Tech., 3.Univ. of Tokyo)

Keywords:Machine-Learning, Atomic force microscope, Force Mapping

機械学習を用いて非接触原子間力顕微鏡で取得したフォースマップを自動解析した。Si(111)-(7x7)上で測定したフォースマッピングを解析した結果、短距離成分と長距離成分に分離することが可能になった。さらに、長距離力には探針の非対称な影響が含まれていることが分かった。