[19a-C310-1~12] 6.6 プローブ顕微鏡

[19a-C310-5] 機械学習を用いたフォースマッピングの自動解析

〇Diao Zhuo¹、勝部 大樹²、山下 隼人¹、杉本 宜昭³、阿部 真之¹ (1.阪大基礎工、2.長岡技科大、3.東大新領域)

キーワード：機械学習、原子間力顕微鏡、フォースマッピング

機械学習を用いて非接触原子間力顕微鏡で取得したフォースマップを自動解析した。Si(111)-(7x7)上で測定したフォースマッピングを解析した結果、短距離成分と長距離成分に分離することが可能になった。さらに、長距離力には探針の非対称な影響が含まれていることが分かった。