[19a-E206-1~10] 3.15 シリコンフォトニクス

[19a-E206-7] RFマグネトロンスパッタリング法と熱処理によって製膜したSi基板上多結晶YIG薄膜の評価

〇吉田 周平¹、上北 崇弘¹、清水 大雅^1,2 (1.東京農工大工、2.東京農工大GIR)

キーワード：磁性ガーネット、バッファ層