[19a-E303-1~6] 16.2 エナジーハーベスティング

△ [19a-E303-1] 酸化バナジウム系非晶質薄膜の一軸加圧下熱処理とp/n及び熱電特性制御

〇中西 昴¹、篠崎 佳晴¹、金子 智^2,1、木村 好里¹、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.神奈川県産技総研)

キーワード：酸化バナジウム、非晶質薄膜、一軸加圧下熱処理

我々は酸化物薄膜への一軸加圧下熱処理(UCA)を非晶質薄膜に対して行い，面直の圧力印加による結晶成長の抑制や圧力誘起のカチオン価数制御を報告してきた。本研究では，新規な酸化バナジウム系非晶質薄膜熱電材料の創製と特性制御を目的として，UCAプロセスを用いた結晶化抑制と価数制御を狙い，酸化バナジウム系非晶質薄膜の成膜条件及びUCA条件が結晶析出抑制ならびにp型/n型制御，電気伝導率にどのような影響を与えるか調査した。