[19a-E308-1~9] 17.3 層状物質

[19a-E308-2] スパッタMoS₂膜のCl₂プラズマ処理によるシート抵抗低減

〇濱田 拓也¹、堀口 大河¹、辰巳 哲也²、冨谷 茂隆²、濱田 昌也¹、星井 拓也¹、角嶋 邦之¹、筒井 一生³、若林 整^1,2 (1.東工大工、2.東工大地球インクルーシブセンシング研究機構、3.東工大科学技術創成研究院)

キーワード：遷移金属ダイカルコゲナイド、MoS2、Cl2プラズマ