[19a-E312-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[19a-E312-1] 水素化アモルファス炭素膜の構造と電気伝導特性の関係

〇(M2)冨所 優志¹、Tunmee Sarayut²、Nakajima Hideki²、Rittihong Ukit²、Supruangnet Ratchadaporn²、平田 祐樹¹、大竹 尚登¹、赤坂 大樹¹ (1.東工大工、2.泰シンクロトロン光研)

キーワード：アモルファス炭素膜、活性化エネルギー