[19a-E312-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[19a-E312-3] アモルファス炭素（a-C）薄膜の光誘起変形

〇青野 祐美¹、鈴木 健太²、北沢 信章²、佐藤 庸平³、寺内 正己³ (1.鹿児島大工、2.防衛大材料、3.東北大多元研)

キーワード：アモルファス、炭素、薄膜

これまで、アモルファス窒化炭素（a-CN_x）薄膜で見つかっていた、可視光が照射されると膜形状が変化する光誘起変形と同様の現象が、窒素を全く含まないアモルファス炭素（a-C）薄膜においても発見された。a-C薄膜の光熱変換はa-CN_x薄膜より大きいが、光誘起変形量は1/5程度である。発熱量と変形量は比例関係にないことから、a-CN_x薄膜同様、光が直接変形を起こしている可能性がある。