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一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[19a-E312-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

2019年9月19日(木) 09:30 〜 12:00 E312 (E312)

青野祐美(鹿児島大)、斎藤秀俊(長岡技大)

10:30 〜 10:45

[19a-E312-5] マグネトロンスパッタ法により作製したBCN膜特性に及ぼす水素の効果

〇谷口颯¹、郡山春人¹、遠田義晴¹、小林康之¹、中澤日出樹¹ (1.弘前大院理工)

キーワード：BCN、水素、マグネトロンスパッタ