[19a-E312-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

△ [19a-E312-9] DLCを担持させたCu粒子からのCu-DLC複合材料厚膜の作製

〇沖村 奈南¹、阿多 誠久¹、崔 鐘範¹、中山 亘¹、平田 祐樹¹、大竹 尚登¹、赤坂 大樹¹ (1.東工大)

キーワード：DLC膜、コールドスプレー法、複合材料