[19a-E313-1~10] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[19a-E313-7] 固相成長Ge薄膜のTFT動作実証とSn添加効果の検討

〇茂藤 健太^1,2、山本 圭介³、今城 利文^1,2、末益 崇¹、中島 寛⁴、都甲 薫¹ (1.筑波大院、2.学振特別研究員、3.九大院 総理工、4.九大 GIC)

キーワード：GeSn、薄膜トランジスタ、固相成長