[19a-N304-1~10] 3.7 レーザープロセシング

[19a-N304-1] F₂レーザーによるポリカーボネート上Al薄膜の
マイクロパターニング

〇吉田 剛¹、野尻 秀智²、大越 昌幸¹ (1.防大電電、2.（株）レニアス)

キーワード：VUVレーザー、マイクロパターニング

本研究室ではポリカーボネート(=PC)窓材のスマート化のため電極形成技術の開発を目指している。本発表ではシリコーン樹脂によるハードコート層を持つPC基板上に真空蒸着したAl薄膜を対象としてF₂ レーザー照射とKOH水溶液によるケミカルエッチングを用いたAl薄膜のパターニング手法を報告し、その加工メカニズムについてAl蒸着膜やPC基板表面のXPS、ATR-IRスペクトルをもとに議論する。