[19a-N304-1~10] 3.7 レーザープロセシング

[19a-N304-4] ArFレーザーによるシリコーンゴム表面へのマイクロ吸盤構造の作製

〇大越 昌幸¹、吉田 剛¹ (1.防衛大電気電子)

キーワード：シリコーンゴム、マイクロ吸盤構造、ArFエキシマレーザー

ArFエキシマレーザーを用いて、直径約1ミクロン、高さ約2ミクロンの円柱状のマイクロ吸盤構造を周期約2.5ミクロンでシリコーンゴム上に作製した。実験として、直径2.5ミクロンのシリカガラス製微小球を、Al薄膜が形成されたシリコーンゴム上に単層で整列させ、その上方からレーザーを照射した。その結果、微小球下のAl薄膜は円形にアブレーションされるとともに、その開口部のシリコーンゴムが、主鎖構造の光開裂により円柱状に隆起された。加えて、隆起されたシリコーンの上面部では、微小球により集光されたレーザーによりアブレーションが起こり、直径約0.5ミクロンの穴も形成した。このような微細隆起構造が作製された試料表面は、超撥水性を呈することが認められた。